Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия

Abstract

На основе использования подхода Бокса-Дженкинса к синтезу моделей стохастических линейных динамических процессов разработана АRМАХ-модель процесса вытягивания монокристаллических слитков полуизолирующего арсенида галлия по технологии с жидкостной герметизацией, связывающая вариации температуры фонового нагревателя с вариациями диаметра слитка. Полученная модель применяется для синтеза оптимального прогнозного регулятора процесса выращивания на этапе вытягивания цилиндрической части слитка. Результаты моделирования работы регулятора подтверждают его работоспособность.