Публікація: Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия
dc.contributor.author | Загирняк, М. В. | |
dc.contributor.author | Оксанич, А. П. | |
dc.contributor.author | Петренко, В. Р. | |
dc.contributor.author | Притчин, С. Э. | |
dc.contributor.author | Тербан, В. А. | |
dc.date.accessioned | 2016-06-15T13:11:20Z | |
dc.date.available | 2016-06-15T13:11:20Z | |
dc.date.issued | 2011 | |
dc.description.abstract | На основе использования подхода Бокса-Дженкинса к синтезу моделей стохастических линейных динамических процессов разработана АRМАХ-модель процесса вытягивания монокристаллических слитков полуизолирующего арсенида галлия по технологии с жидкостной герметизацией, связывающая вариации температуры фонового нагревателя с вариациями диаметра слитка. Полученная модель применяется для синтеза оптимального прогнозного регулятора процесса выращивания на этапе вытягивания цилиндрической части слитка. Результаты моделирования работы регулятора подтверждают его работоспособность. | uk_UA |
dc.identifier.citation | Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия / М. В. Загирняк, А. П. Оксанич, В. Р. Петренко и др. // АСУ и приборы автоматики : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Х. : Изд-во ХНУРЭ, 2011. – Вып. 155. – С. 33–42. | uk_UA |
dc.identifier.uri | http://openarchive.nure.ua/handle/document/944 | |
dc.language.iso | ru | uk_UA |
dc.publisher | ХНУРЭ | uk_UA |
dc.subject | подход Бокса-Дженкинса | uk_UA |
dc.subject | синтез моделей стохастических линейных динамических процессов | uk_UA |
dc.subject | монокристаллические слитки | uk_UA |
dc.title | Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия | uk_UA |
dc.type | Article | uk_UA |
dspace.entity.type | Publication |
Файли
Оригінальний пакет
1 - 1 з 1
Завантаження...
- Назва:
- ASU_155_2011 (33-42).pdf
- Розмір:
- 733.99 KB
- Формат:
- Adobe Portable Document Format
Ліцензійний пакет
1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 9.42 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: