Please use this identifier to cite or link to this item: http://openarchive.nure.ua/handle/document/944
Title: Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия
Authors: Загирняк, М. В.
Оксанич, А. П.
Петренко, В. Р.
Притчин, С. Э.
Тербан, В. А.
Keywords: подход Бокса-Дженкинса
синтез моделей стохастических линейных динамических процессов
монокристаллические слитки
Issue Date: 2011
Publisher: ХНУРЭ
Citation: Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия / М. В. Загирняк, А. П. Оксанич, В. Р. Петренко и др. // АСУ и приборы автоматики : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Х. : Изд-во ХНУРЭ, 2011. – Вып. 155. – С. 33–42.
Abstract: На основе использования подхода Бокса-Дженкинса к синтезу моделей стохастических линейных динамических процессов разработана АRМАХ-модель процесса вытягивания монокристаллических слитков полуизолирующего арсенида галлия по технологии с жидкостной герметизацией, связывающая вариации температуры фонового нагревателя с вариациями диаметра слитка. Полученная модель применяется для синтеза оптимального прогнозного регулятора процесса выращивания на этапе вытягивания цилиндрической части слитка. Результаты моделирования работы регулятора подтверждают его работоспособность.
URI: http://openarchive.nure.ua/handle/document/944
Appears in Collections:Автоматизированные системы управления и приборы автоматики

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
ASU_155_2011 (33-42).pdf733.99 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

Admin Tools