Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия

Загирняк, М. В.; Оксанич, А. П.; Петренко, В. Р.; Притчин, С. Э.; Тербан, В. А.

Публікація:
Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия

dc.contributor.author	Загирняк, М. В.
dc.contributor.author	Оксанич, А. П.
dc.contributor.author	Петренко, В. Р.
dc.contributor.author	Притчин, С. Э.
dc.contributor.author	Тербан, В. А.
dc.date.accessioned	2016-06-15T13:11:20Z
dc.date.available	2016-06-15T13:11:20Z
dc.date.issued	2011
dc.description.abstract	На основе использования подхода Бокса-Дженкинса к синтезу моделей стохастических линейных динамических процессов разработана АRМАХ-модель процесса вытягивания монокристаллических слитков полуизолирующего арсенида галлия по технологии с жидкостной герметизацией, связывающая вариации температуры фонового нагревателя с вариациями диаметра слитка. Полученная модель применяется для синтеза оптимального прогнозного регулятора процесса выращивания на этапе вытягивания цилиндрической части слитка. Результаты моделирования работы регулятора подтверждают его работоспособность.	uk_UA
dc.identifier.citation	Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия / М. В. Загирняк, А. П. Оксанич, В. Р. Петренко и др. // АСУ и приборы автоматики : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Х. : Изд-во ХНУРЭ, 2011. – Вып. 155. – С. 33–42.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/944
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЭ	uk_UA
dc.subject	подход Бокса-Дженкинса	uk_UA
dc.subject	синтез моделей стохастических линейных динамических процессов	uk_UA
dc.subject	монокристаллические слитки	uk_UA
dc.title	Разработка математической модели и прогнозного регулятора для процесса выращивания монокристаллов полуизолирующего арсенид галлия	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication