Класифікація технологій мікроелектромеханічних систем
Завантаження...
Дата
2005
Автори
Невлюдов, І. Ш.
Свищ, В. М.
Палагін, В. А.
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
ХНУРЭ
Анотація
Робота присвячена класифікації технологій мікроелектромеханічних систем
Опис
Ключові слова
мікроелектромеханічны системи, нанотехнології
Цитування
Невлюдов І. Ш. Класифікація технологій мікроелектромеханічних систем / І. Ш. Невлюдов, В. М. Свищ, В. А. Палагін // сб. науч. тр. 2-го Международного радиоэлектронного форума «Прикладная радиоэлектроника. Состояние и перспективы развития», МРФ-2005, 19–23 сентября 2005 г. – Х. : ХНУРЭ, 2005. – Т. 1 – С. 111–114.