Публікація:
Класифікація технологій мікроелектромеханічних систем

Спрощена сторінка документа
dc.contributor.authorНевлюдов, І. Ш.
dc.contributor.authorСвищ, В. М.
dc.contributor.authorПалагін, В. А.
dc.date.accessioned2018-05-16T13:13:04Z
dc.date.available2018-05-16T13:13:04Z
dc.date.issued2005
dc.description.abstractРобота присвячена класифікації технологій мікроелектромеханічних системuk_UA
dc.identifier.citationНевлюдов І. Ш. Класифікація технологій мікроелектромеханічних систем / І. Ш. Невлюдов, В. М. Свищ, В. А. Палагін // сб. науч. тр. 2-го Международного радиоэлектронного форума «Прикладная радиоэлектроника. Состояние и перспективы развития», МРФ-2005, 19–23 сентября 2005 г. – Х. : ХНУРЭ, 2005. – Т. 1 – С. 111–114.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/5257
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherХНУРЭuk_UA
dc.subjectмікроелектромеханічны системиuk_UA
dc.subjectнанотехнологіїuk_UA
dc.titleКласифікація технологій мікроелектромеханічних системuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
Pricladn_radioel-2005_T1-rus-111-114.pdf
Розмір:
367.58 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Международный радиоэлектронный форум " Прикладная радиоэлектроника. Состояние и перспективы развития"