Публікація:
Класифікація технологій мікроелектромеханічних систем

Завантаження...
Зображення мініатюри

Дата

2005

Назва журналу

ISSN журналу

Назва тома

Видавництво

ХНУРЭ

Дослідницькі проекти

Організаційні підрозділи

Видання журналу

Анотація

Робота присвячена класифікації технологій мікроелектромеханічних систем

Опис

Ключові слова

мікроелектромеханічны системи, нанотехнології

Бібліографічний опис

Невлюдов І. Ш. Класифікація технологій мікроелектромеханічних систем / І. Ш. Невлюдов, В. М. Свищ, В. А. Палагін // сб. науч. тр. 2-го Международного радиоэлектронного форума «Прикладная радиоэлектроника. Состояние и перспективы развития», МРФ-2005, 19–23 сентября 2005 г. – Х. : ХНУРЭ, 2005. – Т. 1 – С. 111–114.

DOI