Accelerometers production technological process decomposition parameters model
Завантаження...
Дата
2016
Автори
Nevlydov, I.
Yevsieiev, V.
Miliutina, S.
Bortnikova, V.
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
2016 XII International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH)
Анотація
In this paper the accelerometer production technological process parameters decomposition model is described.
Опис
Ключові слова
decomposition, technological process, MEMS, Accelerometer