Публікація: Інформаційні технології в діагностиці процесів дефектоутворення мікро- та наноелектронних структур
Завантаження...
Дата
2025
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЕ
Анотація
The paper presents a method for diagnosing defect formation processes in micro- and nanostructures based on information technologies. The entropy analysis method was used. Statistical parameter calculations of technological images were performed. Mathematical modeling of a defect recognition algorithm for various spatial dimensions is presented.
Опис
Ключові слова
дефектоутворення, діагностика процесів дефектоутворення
Бібліографічний опис
Пятайкіна М. І. Інформаційні технології в діагностиці процесів дефектоутворення мікро- та наноелектронних структур / М. І. Пятайкіна, Т. О. Стрілкова // Радіоелектроніка та молодь у XXI столітті : матеріали 29-го Міжнар. молодіж. форуму, 16–19 квітня 2025 р. – Харків : ХНУРЕ, 2025. – Т. 1. – С. 50–52.