Інформаційні технології в діагностиці процесів дефектоутворення мікро- та наноелектронних структур

Пятайкіна, М. І.; Стрілкова, Т. О.

Публікація:
Інформаційні технології в діагностиці процесів дефектоутворення мікро- та наноелектронних структур

dc.contributor.author	Пятайкіна, М. І.
dc.contributor.author	Стрілкова, Т. О.
dc.date.accessioned	2025-04-19T07:01:13Z
dc.date.available	2025-04-19T07:01:13Z
dc.date.issued	2025
dc.description.abstract	The paper presents a method for diagnosing defect formation processes in micro- and nanostructures based on information technologies. The entropy analysis method was used. Statistical parameter calculations of technological images were performed. Mathematical modeling of a defect recognition algorithm for various spatial dimensions is presented.
dc.identifier.citation	Пятайкіна М. І. Інформаційні технології в діагностиці процесів дефектоутворення мікро- та наноелектронних структур / М. І. Пятайкіна, Т. О. Стрілкова // Радіоелектроніка та молодь у XXI столітті : матеріали 29-го Міжнар. молодіж. форуму, 16–19 квітня 2025 р. – Харків : ХНУРЕ, 2025. – Т. 1. – С. 50–52.
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/30379
dc.language.iso	uk
dc.publisher	ХНУРЕ
dc.subject	дефектоутворення
dc.subject	діагностика процесів дефектоутворення
dc.title	Інформаційні технології в діагностиці процесів дефектоутворення мікро- та наноелектронних структур
dc.type	Thesis
dspace.entity.type	Publication