Публікація: Методика микроволновой сканирующей томографии электрофизических свойств полупроводников
Завантаження...
Дата
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
Вебер
Анотація
Разработана методика микроволновой диагностики полупроводников с произвольным распределением электрофизических свойств по глубине. Предложено проводить сканирование по величине воздушного зазора между объемным резонаторным датчиком и поверхностью полупроводника. Разработан одномерный алгоритм реконструкции распределения электрофизических свойств полу проводника. Он сводится к решению интегрального уравнения для получения промежуточной функции, полностью характеризующей свойства объекта, и пошаговому алгоритму решения некорректной обратной задачи для нее
Опис
Ключові слова
микроволновая диагностика, диагностика полупроводников
Цитування
Мельник С. И. Методика микроволновой сканирующей томографии электрофизических свойств полупроводников / С. И. Мельник, Ю. Е. Гордиенко // СВЧ-техника и телекоммуникационные технологии (КрыМиКо’2010) : материалы 20-ой Междунар. Крымская конф., 13-17 сентября 2010 г. – Севастополь : Вебер, 2010. – С. 721–722.