Публікація:
Impact of technological operations parameters on moems components formation

Завантаження...
Зображення мініатюри

Дата

2019

Назва журналу

ISSN журналу

Назва тома

Видавництво

Дослідницькі проекти

Організаційні підрозділи

Видання журналу

Анотація

In the paper the modeling results for the process of MOEMS functional surfaces shaping are presented. The significance and magnitude of factors that directly affect the shaping process of MOEMS functional surfaces were determined.

Опис

Ключові слова

component, MOEMS, shaping, optical, switcher, micro mirror, grinding

Бібліографічний опис

Impact of technological operations parameters on moems components formation / O. Filipenko, O. Chala, V. Bortnikova, O. Sychova, I. Botsman // Conference on Advanced Optoelectronics and Lasers : proceedings of the IEEE 8th International Conference (CAOL'2019), Sozopol, Bulgaria, September 6-8, 2019. – P. 371–374.

DOI