Публікація:
Impact of technological operations parameters on moems components formation

Проста сторінка документа
dc.contributor.authorFilipenko, O.
dc.contributor.authorChala, O.
dc.contributor.authorBortnikova, V.
dc.contributor.authorSychova, O.
dc.contributor.authorBotsman, I.
dc.date.accessioned2023-04-13T16:17:40Z
dc.date.available2023-04-13T16:17:40Z
dc.date.issued2019
dc.description.abstractIn the paper the modeling results for the process of MOEMS functional surfaces shaping are presented. The significance and magnitude of factors that directly affect the shaping process of MOEMS functional surfaces were determined.
dc.identifier.citationImpact of technological operations parameters on moems components formation / O. Filipenko, O. Chala, V. Bortnikova, O. Sychova, I. Botsman // Conference on Advanced Optoelectronics and Lasers : proceedings of the IEEE 8th International Conference (CAOL'2019), Sozopol, Bulgaria, September 6-8, 2019. – P. 371–374.
dc.identifier.urihttps://openarchive.nure.ua/handle/document/22616
dc.language.isoen
dc.subjectcomponent
dc.subjectMOEMS
dc.subjectshaping
dc.subjectoptical
dc.subjectswitcher
dc.subjectmicro mirror
dc.subjectgrinding
dc.titleImpact of technological operations parameters on moems components formation
dc.typeConference proceedings
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакунок

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
18.pdf
Розмір:
914.12 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Пакунок ліцензії

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
license.txt
Розмір:
9.64 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра комп’ютерно-інтегрованих технологій, автоматизації та робототехніки (КІТАР)