Высоколокальная диагностика и модификация малоразмерных структур с помощью микроволновых резонаторных компрессоров

Горбенко, Е. А.; Бондаренко, И. Н.

Публікація:
Высоколокальная диагностика и модификация малоразмерных структур с помощью микроволновых резонаторных компрессоров

dc.contributor.author	Горбенко, Е. А.
dc.contributor.author	Бондаренко, И. Н.
dc.date.accessioned	2020-12-31T18:47:13Z
dc.date.available	2020-12-31T18:47:13Z
dc.date.issued	2020
dc.description.abstract	Рассмотрены физические процессы и возможности реализации высоколокальной диагностики и модификации малоразмерных объектов с использованием резонаторных накопительных структур.	uk_UA
dc.identifier.citation	Горбенко Е. А. Высоколокальная диагностика и модификация малоразмерных структур с помощью микроволновых резонаторных компрессоров / Е. А. Горбенко, И. Н. Бондаренко // Радіоелектроніка та молодь у ХХІ столітті: матеріали 24-го Міжнарод. молодіжного форуму, 7-9 квітня 2020 р. - Харків : ХНУРЕ, 2020. - С. 43-44.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/14057
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЕ	uk_UA
dc.subject	высоколокальный СВЧ нагрев	uk_UA
dc.subject	электрофизические характеристики	uk_UA
dc.subject	ближнеполевой микрозонд	uk_UA
dc.subject	резонаторный накопитель	uk_UA
dc.title	Высоколокальная диагностика и модификация малоразмерных структур с помощью микроволновых резонаторных компрессоров	uk_UA
dc.type	Abstract of Thesis	uk_UA
dspace.entity.type	Publication