Публікація: Высоколокальная диагностика и модификация малоразмерных структур с помощью микроволновых резонаторных компрессоров
Завантаження...
Файли
Дата
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
ХНУРЕ
Анотація
Рассмотрены физические процессы и возможности реализации высоколокальной диагностики и модификации малоразмерных объектов с использованием резонаторных накопительных структур.
Опис
Ключові слова
высоколокальный СВЧ нагрев, электрофизические характеристики, ближнеполевой микрозонд, резонаторный накопитель
Цитування
Горбенко Е. А. Высоколокальная диагностика и модификация малоразмерных структур с помощью микроволновых резонаторных компрессоров / Е. А. Горбенко, И. Н. Бондаренко // Радіоелектроніка та молодь у ХХІ столітті: матеріали 24-го Міжнарод. молодіжного форуму, 7-9 квітня 2020 р. - Харків : ХНУРЕ, 2020. - С. 43-44.