Фізико технологічна база для побудови математичної моделі прогнозування дефектів у підкладках функціональних компонентів МОЕМС

Чала, О. О.; Невлюдов, І. Ш.; Нелюдова, В. В.

Публікація:
Фізико технологічна база для побудови математичної моделі прогнозування дефектів у підкладках функціональних компонентів МОЕМС

dc.contributor.author	Чала, О. О.
dc.contributor.author	Невлюдов, І. Ш.
dc.contributor.author	Нелюдова, В. В.
dc.date.accessioned	2022-07-11T14:17:56Z
dc.date.available	2022-07-11T14:17:56Z
dc.date.issued	2022
dc.description.abstract	Проведено детальний аналіз основних виробничих дефектів підкладок ФК MОEMС на етапі їх виробництва, що дає підґрунтя для розроблення фізико-технологічної моделі прогнозування дефектів підкладок ФК МОЕМС, яка буде враховуєвати якість підкладок та дозволить пронозувати та корегувати параметри технологічного процесу виготовлення.	uk_UA
dc.identifier.citation	Чала О. О. Фізико технологічна база для побудови математичної моделі прогнозування дефектв у підкладках функціональних компонентів МОЕМС / О. О. Чала, І. Ш. Невлюдов, В. В. Невлюдова // Напівпровідникові матеріали, інформаційні технології та фотовольтаїка : матеріали VIІ Міжнар. наук.-практ. конф. : тези доп. − Кременчук: Кременчуцький нац. ун-т ім. Михайла Остроградського, 2022. – С. 32-33.	uk_UA
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/20666
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	Кременчуцький національний університет імені Михайла Остроградського	uk_UA
dc.subject	МОЕМС
dc.subject	виробничі дефекти
dc.subject	прогнозування дефектів
dc.subject	функціональні компоненти
dc.title	Фізико технологічна база для побудови математичної моделі прогнозування дефектів у підкладках функціональних компонентів МОЕМС	uk_UA
dc.type	Other	uk_UA
dspace.entity.type	Publication