Публікація: Фізико технологічна база для побудови математичної моделі прогнозування дефектів у підкладках функціональних компонентів МОЕМС
Завантаження...
Дата
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
Кременчуцький національний університет імені Михайла Остроградського
Анотація
Проведено детальний аналіз основних виробничих дефектів підкладок ФК MОEMС на етапі їх виробництва, що дає підґрунтя для розроблення фізико-технологічної моделі прогнозування дефектів підкладок ФК МОЕМС, яка буде враховуєвати якість підкладок та дозволить пронозувати та корегувати параметри технологічного процесу виготовлення.
Опис
Ключові слова
МОЕМС, виробничі дефекти, прогнозування дефектів, функціональні компоненти
Цитування
Чала О. О. Фізико технологічна база для побудови математичної моделі прогнозування дефектв у підкладках функціональних компонентів МОЕМС / О. О. Чала, І. Ш. Невлюдов, В. В. Невлюдова // Напівпровідникові матеріали, інформаційні технології та фотовольтаїка : матеріали VIІ Міжнар. наук.-практ. конф. : тези доп. − Кременчук: Кременчуцький нац. ун-т ім. Михайла Остроградського, 2022. – С. 32-33.