Публікація: Огляд сучасних технологій нанопристроїв та мікросистемної техніки
Завантаження...
Дата
2020
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЕ
Анотація
The work deals with the technologies of nanodevices and microsystem technology. Specific examples and microsystem techniques are described. As a result of the inspection of modern technologies of nanodevices and Microsystem techniques, examples of existing nanodevices and techniques of nano-and microsystem techniques are considered, which will further improve one of the methods for obtaining MEMS products.
Опис
Ключові слова
нанопристрої, мікросистемна техніка, нанороботи
Бібліографічний опис
Білоус М. Ю. Огляд сучасних технологій нанопристроїв та мікросистемної техніки / М. Ю. Білоус, К. Г. Медова // Автоматизація та приладобудування = Automation and Development of Electronic Devices (АDED'2020) : зб. студ. наук. ст. – Харків : ХНУРЕ, 2020. – Вип. 1. – С. 178-181.