Огляд сучасних технологій нанопристроїв та мікросистемної техніки

Публікація:
Огляд сучасних технологій нанопристроїв та мікросистемної техніки

dc.contributor.author	Білоус, М. Ю.
dc.contributor.author	Медова, К. Г.
dc.date.accessioned	2021-01-26T21:27:57Z
dc.date.available	2021-01-26T21:27:57Z
dc.date.issued	2020
dc.description.abstract	The work deals with the technologies of nanodevices and microsystem technology. Specific examples and microsystem techniques are described. As a result of the inspection of modern technologies of nanodevices and Microsystem techniques, examples of existing nanodevices and techniques of nano-and microsystem techniques are considered, which will further improve one of the methods for obtaining MEMS products.	uk_UA
dc.identifier.citation	Білоус М. Ю. Огляд сучасних технологій нанопристроїв та мікросистемної техніки / М. Ю. Білоус, К. Г. Медова // Автоматизація та приладобудування = Automation and Development of Electronic Devices (АDED'2020) : зб. студ. наук. ст. – Харків : ХНУРЕ, 2020. – Вип. 1. – С. 178-181.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/14148
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЕ	uk_UA
dc.subject	нанопристрої	uk_UA
dc.subject	мікросистемна техніка	uk_UA
dc.subject	нанороботи	uk_UA
dc.title	Огляд сучасних технологій нанопристроїв та мікросистемної техніки	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication