Технологія оптичного позиціонування шлюзу завантаження підкладок

Кадубовський, Д. С.

Публікація:
Технологія оптичного позиціонування шлюзу завантаження підкладок

dc.contributor.author	Кадубовський, Д. С.
dc.date.accessioned	2021-06-18T13:15:23Z
dc.date.available	2021-06-18T13:15:23Z
dc.date.issued	2020
dc.description.abstract	Удосконалено математичний метод оптичного позиціонування підкладок в завантажувальному шлюзі автоматичної системи фотолітографії. Розроблено алгоритм попередньї обробки зображення, що передбачає після фільтрації зображення поточної позиції підкладки оцінку координати центру кола підкладки проводити з використанням перетворення Хафа. Розроблено програмний модуль, що реалізує математичні методи аналізу результатів позиціонування оптичним методом контролю. Експериментальні дослідження показали працездатність методу. Недоліками розробленого методу є відсутність графічного інтерфейсу та відносно велике відхилення ± 340 мкм. Таке значення можливо зменшити за умови удосконалення системи кріплення камері, використання більш якісної ПЗС матриці.	uk_UA
dc.identifier.citation	Кадубовський Д. С. Технологія оптичного позиціонування шлюзу завантаження підкладок : пояснювальна записка до атестаційної роботи здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 172 Телекомунікації та радіотехніка / Д. С. Кадубовський ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. – Харків, 2020. – 66 с.	uk_UA
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/16569
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.subject	фотолітографія	uk_UA
dc.subject	промисловий робот	uk_UA
dc.subject	позиціонування	uk_UA
dc.subject	кварцева підкладка	uk_UA
dc.subject	перетворення Хафа	uk_UA
dc.title	Технологія оптичного позиціонування шлюзу завантаження підкладок	uk_UA
dc.type	Other	uk_UA
dspace.entity.type	Publication