Технологія оптичного позиціонування шлюзу завантаження підкладок

Abstract

Удосконалено математичний метод оптичного позиціонування підкладок в завантажувальному шлюзі автоматичної системи фотолітографії. Розроблено алгоритм попередньї обробки зображення, що передбачає після фільтрації зображення поточної позиції підкладки оцінку координати центру кола підкладки проводити з використанням перетворення Хафа. Розроблено програмний модуль, що реалізує математичні методи аналізу результатів позиціонування оптичним методом контролю. Експериментальні дослідження показали працездатність методу. Недоліками розробленого методу є відсутність графічного інтерфейсу та відносно велике відхилення ± 340 мкм. Таке значення можливо зменшити за умови удосконалення системи кріплення камері, використання більш якісної ПЗС матриці.