Публікація: Технологія оптичного позиціонування шлюзу завантаження підкладок
Завантаження...
Дата
2020
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Анотація
Удосконалено математичний метод оптичного позиціонування підкладок в завантажувальному шлюзі автоматичної системи фотолітографії. Розроблено алгоритм попередньї обробки зображення, що передбачає після фільтрації зображення поточної позиції підкладки оцінку координати центру кола підкладки проводити з використанням перетворення Хафа.
Розроблено програмний модуль, що реалізує математичні методи аналізу результатів позиціонування оптичним методом контролю. Експериментальні дослідження показали працездатність методу. Недоліками розробленого методу є відсутність графічного інтерфейсу та відносно велике відхилення ± 340 мкм. Таке значення можливо зменшити за умови удосконалення системи кріплення камері, використання більш якісної ПЗС матриці.
Опис
Ключові слова
фотолітографія, промисловий робот, позиціонування, кварцева підкладка, перетворення Хафа
Бібліографічний опис
Кадубовський Д. С. Технологія оптичного позиціонування шлюзу завантаження підкладок : пояснювальна записка до атестаційної роботи здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 172 Телекомунікації та радіотехніка / Д. С. Кадубовський ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. – Харків, 2020. – 66 с.