Публікація:
Вплив параметрів технологічних операцій шліфування та полірування на формоутворення компонентів MOEMS

Завантаження...
Зображення мініатюри

Дата

2019

Назва журналу

ISSN журналу

Назва тома

Видавництво

ХНУРЕ

Дослідницькі проекти

Організаційні підрозділи

Видання журналу

Анотація

У матеріалах приведено результати моделювання процесу формування функціональних поверхонь МОЕМС компонентів. Визначено значення та величину факторів, що безпосередньо впливають на процес формування.

Опис

Ключові слова

компоненти MOEMS, оптичний перемикач, мікро дзеркало, шліфування, полірування

Бібліографічний опис

Чала О. О. Вплив параметрів технологічних операцій шліфування та полірування на формоутворення компонентів MOEMS / О. О. Чала, О. І. Филипенко, І. В. Боцман // Виробництво & Мехатронні Системи 2019 : матеріали III Міжнар. конф., 24-25 жовтня 2019 р. – Харків : ХНУРЕ, 2019. – С. 69 - 72.

DOI