Публікація: Вплив параметрів технологічних операцій шліфування та полірування на формоутворення компонентів MOEMS
Завантаження...
Дата
2019
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЕ
Анотація
У матеріалах приведено результати моделювання процесу формування функціональних поверхонь МОЕМС компонентів. Визначено значення та величину факторів, що безпосередньо впливають на процес формування.
Опис
Ключові слова
компоненти MOEMS, оптичний перемикач, мікро дзеркало, шліфування, полірування
Бібліографічний опис
Чала О. О. Вплив параметрів технологічних операцій шліфування та полірування на формоутворення компонентів MOEMS / О. О. Чала, О. І. Филипенко, І. В. Боцман // Виробництво & Мехатронні Системи 2019 : матеріали III Міжнар. конф., 24-25 жовтня 2019 р. – Харків : ХНУРЕ, 2019.
– С. 69 - 72.