Вплив параметрів технологічних операцій шліфування та полірування на формоутворення компонентів MOEMS

Чала, О. О.; Филипенко, О. І.; Боцман, І. В.

Публікація:
Вплив параметрів технологічних операцій шліфування та полірування на формоутворення компонентів MOEMS

dc.contributor.author	Чала, О. О.
dc.contributor.author	Филипенко, О. І.
dc.contributor.author	Боцман, І. В.
dc.date.accessioned	2019-10-25T12:06:05Z
dc.date.available	2019-10-25T12:06:05Z
dc.date.issued	2019
dc.description.abstract	У матеріалах приведено результати моделювання процесу формування функціональних поверхонь МОЕМС компонентів. Визначено значення та величину факторів, що безпосередньо впливають на процес формування.	uk_UA
dc.identifier.citation	Чала О. О. Вплив параметрів технологічних операцій шліфування та полірування на формоутворення компонентів MOEMS / О. О. Чала, О. І. Филипенко, І. В. Боцман // Виробництво & Мехатронні Системи 2019 : матеріали III Міжнар. конф., 24-25 жовтня 2019 р. – Харків : ХНУРЕ, 2019. – С. 69 - 72.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/10043
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЕ	uk_UA
dc.subject	компоненти MOEMS	uk_UA
dc.subject	оптичний перемикач	uk_UA
dc.subject	мікро дзеркало	uk_UA
dc.subject	шліфування	uk_UA
dc.subject	полірування	uk_UA
dc.title	Вплив параметрів технологічних операцій шліфування та полірування на формоутворення компонентів MOEMS	uk_UA
dc.type	Thesis	uk_UA
dspace.entity.type	Publication