Публікація: Вплив параметрів технологічних операцій шліфування та полірування на формоутворення компонентів MOEMS
Завантаження...
Дата
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
ХНУРЕ
Анотація
У матеріалах приведено результати моделювання процесу формування функціональних поверхонь МОЕМС компонентів. Визначено значення та величину факторів, що безпосередньо впливають на процес формування.
Опис
Ключові слова
компоненти MOEMS, оптичний перемикач, мікро дзеркало, шліфування, полірування
Цитування
Чала О. О. Вплив параметрів технологічних операцій шліфування та полірування на формоутворення компонентів MOEMS / О. О. Чала, О. І. Филипенко, І. В. Боцман // Виробництво & Мехатронні Системи 2019 : матеріали III Міжнар. конф., 24-25 жовтня 2019 р. – Харків : ХНУРЕ, 2019.
– С. 69 - 72.