Математичні моделі мікроелектромеханічних міжз’єднань

Демська, Н. П.; Палагін, В. А.; Омаров, Ш. А.

Публікація:
Математичні моделі мікроелектромеханічних міжз’єднань

dc.contributor.author	Демська, Н. П.
dc.contributor.author	Палагін, В. А.
dc.contributor.author	Омаров, Ш. А.
dc.date.accessioned	2019-11-25T11:50:37Z
dc.date.available	2019-11-25T11:50:37Z
dc.date.issued	2019
dc.description.abstract	При створенні мікроелектромеханічних пристроїв необхідна розробка ефективних математичних моделей опису їх функціонування і напружено-деформованого стану рухомих частин при впливах різних сил і факторів зовнішнього середовища.	uk_UA
dc.identifier.citation	Демська Н. П. Математичні моделі мікроелектромеханічних міжз’єднань / Н. П. Демська, В. А. Палагін, Ш. А. Омаров // Виробництво & Мехатронні системи (M&MS'2019) : матеріали II Міжнар. наук.-техн. конф. – Харків, 2019. –– С. 119–122.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/10301
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЕ	uk_UA
dc.subject	мікроз’єднання	uk_UA
dc.subject	багатошарова структура	uk_UA
dc.subject	деформація	uk_UA
dc.title	Математичні моделі мікроелектромеханічних міжз’єднань	uk_UA
dc.type	Thesis	uk_UA
dspace.entity.type	Publication