Публікація: Математичні моделі мікроелектромеханічних міжз’єднань
Завантаження...
Дата
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
ХНУРЕ
Анотація
При створенні мікроелектромеханічних пристроїв необхідна розробка ефективних математичних моделей опису їх функціонування і напружено-деформованого стану рухомих частин при впливах різних сил і факторів зовнішнього середовища.
Опис
Ключові слова
мікроз’єднання, багатошарова структура, деформація
Цитування
Демська Н. П. Математичні моделі мікроелектромеханічних міжз’єднань / Н. П. Демська, В. А. Палагін, Ш. А. Омаров // Виробництво & Мехатронні системи (M&MS'2019) : матеріали II Міжнар. наук.-техн. конф. – Харків, 2019. –– С. 119–122.