Контроль пористости тонких неферромагнитных пленок вихретоковым методом

Abstract

Развитие электронной микроскопии позволило получить наглядное представление о процессе образования тонких пленок на начальной стадии конденсации. Установлено, что пленки малой толщины представляют собой островковый конденсат, состоящий из отдельных частиц. Предлагается разработанный метод для контроля несплошности объекта контроля (ОК), который заключается в том, что на высоких частотах резонансный . вихретоковый измерительный преобразователь (ВИП), имеющий катушки цилиндрической формы отлично от идеальной модели реагирует на тонкие неферромагнитные пленки, Имеющие пористую островковую структуру.