Математическое моделирование параметров диффузионных элементов интегральных схем

Abstract

Дано описание математических моделей процесса диффузии. Рассмотрены возможности гибкого управления концентрационным профилем легирующей примеси путем изменения режимов процесса. Результирующее изменение градиента концентрации в области р—≪-перехода обеспечивает возможности сознательного выбора режимов процесса з целях формирования электронных приборов и элементов ИС с требуемыми параметрами. Приведены алгоритмы, применяемые при моделировании диффузионных элементов ИС