Математическое моделирование параметров диффузионных элементов интегральных схем

Слипченко, Н. И.; Антонова, В. А.

Публікація:
Математическое моделирование параметров диффузионных элементов интегральных схем

dc.contributor.author	Слипченко, Н. И.
dc.contributor.author	Антонова, В. А.
dc.date.accessioned	2021-11-20T16:38:08Z
dc.date.available	2021-11-20T16:38:08Z
dc.date.issued	1998
dc.description.abstract	Дано описание математических моделей процесса диффузии. Рассмотрены возможности гибкого управления концентрационным профилем легирующей примеси путем изменения режимов процесса. Результирующее изменение градиента концентрации в области р—≪-перехода обеспечивает возможности сознательного выбора режимов процесса з целях формирования электронных приборов и элементов ИС с требуемыми параметрами. Приведены алгоритмы, применяемые при моделировании диффузионных элементов ИС	uk_UA
dc.identifier.citation	Слипченко Н. И. Математическое моделирование параметров диффузионных элементов интегральных схем / Н. И. Слипченко, В. А. Антонова // Радиотехника : всеукр. межвед. науч.–техн. сб. – 1998. – Вып. 105. – С. 158–165.	uk_UA
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/18256
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХТУРЭ	uk_UA
dc.subject	радиотехника	uk_UA
dc.subject	математическая модель процесса диффузии	uk_UA
dc.title	Математическое моделирование параметров диффузионных элементов интегральных схем	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication