Публікація: Математическое моделирование параметров диффузионных элементов интегральных схем
Завантаження...
Дата
1998
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХТУРЭ
Анотація
Дано описание математических моделей процесса диффузии. Рассмотрены
возможности гибкого управления концентрационным профилем легирующей
примеси путем изменения режимов процесса. Результирующее изменение градиента концентрации в области р—≪-перехода обеспечивает возможности сознательного выбора режимов процесса з целях формирования электронных приборов и элементов ИС с требуемыми параметрами. Приведены алгоритмы, применяемые при моделировании диффузионных элементов ИС
Опис
Ключові слова
радиотехника, математическая модель процесса диффузии
Бібліографічний опис
Слипченко Н. И. Математическое моделирование параметров диффузионных элементов интегральных схем / Н. И. Слипченко, В. А. Антонова // Радиотехника : всеукр. межвед. науч.–техн. сб. – 1998. – Вып. 105. – С. 158–165.