Публікація: Метод контроля поверхностного сопротивления диффузионных полупроводниковых структур
Завантаження...
Дата
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тому
Видавець
ХТУРЭ
Анотація
Проанализирована возможность определения поверхностного сопротивления диффузионных структур при помощи СВЧ резонаторного метода. Представлена возможность сформулировать двухпараметровый метод контроля диффузионных слоев. Также подробно рассмотрена методика двухпараметрового контроля.
Опис
Ключові слова
радиотехника, СВЧ резонаторный метод
Цитування
Свидерская Л. И. Метод контроля поверхностного сопротивления диффузионных полупроводниковых структур / Л. И. Свидерская // Радиотехника : Всеукр. межвед. науч.–техн. сб. – 2000. – Вып. 116. – С. 87–91.