Метод контроля поверхностного сопротивления диффузионных полупроводниковых структур

Свидерская, Л. И.

Публікація:
Метод контроля поверхностного сопротивления диффузионных полупроводниковых структур

dc.contributor.author	Свидерская, Л. И.
dc.date.accessioned	2021-09-16T15:35:00Z
dc.date.available	2021-09-16T15:35:00Z
dc.date.issued	2000
dc.description.abstract	Проанализирована возможность определения поверхностного сопротивления диффузионных структур при помощи СВЧ резонаторного метода. Представлена возможность сформулировать двухпараметровый метод контроля диффузионных слоев. Также подробно рассмотрена методика двухпараметрового контроля.	uk_UA
dc.identifier.citation	Свидерская Л. И. Метод контроля поверхностного сопротивления диффузионных полупроводниковых структур / Л. И. Свидерская // Радиотехника : Всеукр. межвед. науч.–техн. сб. – 2000. – Вып. 116. – С. 87–91.	uk_UA
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/17575
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХТУРЭ	uk_UA
dc.subject	радиотехника	uk_UA
dc.subject	СВЧ резонаторный метод	uk_UA
dc.title	Метод контроля поверхностного сопротивления диффузионных полупроводниковых структур	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication