Публікація:
Метод контроля поверхностного сопротивления диффузионных полупроводниковых структур

Проста сторінка документа
dc.contributor.authorСвидерская, Л. И.
dc.date.accessioned2021-09-16T15:35:00Z
dc.date.available2021-09-16T15:35:00Z
dc.date.issued2000
dc.description.abstractПроанализирована возможность определения поверхностного сопротивления диффузионных структур при помощи СВЧ резонаторного метода. Представлена возможность сформулировать двухпараметровый метод контроля диффузионных слоев. Также подробно рассмотрена методика двухпараметрового контроля.uk_UA
dc.identifier.citationСвидерская Л. И. Метод контроля поверхностного сопротивления диффузионных полупроводниковых структур / Л. И. Свидерская // Радиотехника : Всеукр. межвед. науч.–техн. сб. – 2000. – Вып. 116. – С. 87–91.uk_UA
dc.identifier.urihttps://openarchive.nure.ua/handle/document/17575
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherХТУРЭuk_UA
dc.subjectрадиотехникаuk_UA
dc.subjectСВЧ резонаторный методuk_UA
dc.titleМетод контроля поверхностного сопротивления диффузионных полупроводниковых структурuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакунок

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
RT_2000_116-87-91.pdf
Розмір:
277.86 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Пакунок ліцензії

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Радіотехніка