Публікація: Микрополосковые измерительные преобразователи для неразрушающей СВЧ диагностики материалов микроэлектронной техники
Завантаження...
Дата
2007
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЭ
Анотація
Описываются результаты исследований резонансных измерительных преобразователей на основе микрополосковых резонаторов, предназначенных для контроля таких параметров полупроводниковых и диэлектрических пластин, как удельное сопротивление, толщина и диэлектрическая проницаемость.
Опис
Ключові слова
резонансный измерительный преобразователь, радиоэлектроника
Бібліографічний опис
Бородин Б. Г. Микрополосковые измерительные преобразователи для неразрушающей СВЧ диагностики материалов микроэлектронной техники / Б. Г. Бородин, В. В. Ананьин // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – 2007. – Вып. 2. – С. 9–13.