Публікація:
Микрополосковые измерительные преобразователи для неразрушающей СВЧ диагностики материалов микроэлектронной техники

Завантаження...
Зображення мініатюри

Дата

2007

Назва журналу

ISSN журналу

Назва тома

Видавництво

ХНУРЭ

Дослідницькі проекти

Організаційні підрозділи

Видання журналу

Анотація

Описываются результаты исследований резонансных измерительных преобразователей на основе микрополосковых резонаторов, предназначенных для контроля таких параметров полупроводниковых и диэлектрических пластин, как удельное сопротивление, толщина и диэлектрическая проницаемость.

Опис

Ключові слова

резонансный измерительный преобразователь, радиоэлектроника

Бібліографічний опис

Бородин Б. Г. Микрополосковые измерительные преобразователи для неразрушающей СВЧ диагностики материалов микроэлектронной техники / Б. Г. Бородин, В. В. Ананьин // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – 2007. – Вып. 2. – С. 9–13.

DOI