Публікація:
Микрополосковые измерительные преобразователи для неразрушающей СВЧ диагностики материалов микроэлектронной техники

Проста сторінка документа
dc.contributor.authorБородин, Б. Г.
dc.contributor.authorАнаньин, В. В.
dc.date.accessioned2021-07-06T11:04:24Z
dc.date.available2021-07-06T11:04:24Z
dc.date.issued2007
dc.description.abstractОписываются результаты исследований резонансных измерительных преобразователей на основе микрополосковых резонаторов, предназначенных для контроля таких параметров полупроводниковых и диэлектрических пластин, как удельное сопротивление, толщина и диэлектрическая проницаемость.uk_UA
dc.identifier.citationБородин Б. Г. Микрополосковые измерительные преобразователи для неразрушающей СВЧ диагностики материалов микроэлектронной техники / Б. Г. Бородин, В. В. Ананьин // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – 2007. – Вып. 2. – С. 9–13.uk_UA
dc.identifier.urihttps://openarchive.nure.ua/handle/document/16916
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherХНУРЭuk_UA
dc.subjectрезонансный измерительный преобразовательuk_UA
dc.subjectрадиоэлектроникаuk_UA
dc.titleМикрополосковые измерительные преобразователи для неразрушающей СВЧ диагностики материалов микроэлектронной техникиuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакунок

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
RI_2007_2_9-13.pdf
Розмір:
2.44 MB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Пакунок ліцензії

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Радіоелектроніка та інформатика