Микрополосковые измерительные преобразователи для неразрушающей СВЧ диагностики материалов микроэлектронной техники

Бородин, Б. Г.; Ананьин, В. В.

Публікація:
Микрополосковые измерительные преобразователи для неразрушающей СВЧ диагностики материалов микроэлектронной техники

dc.contributor.author	Бородин, Б. Г.
dc.contributor.author	Ананьин, В. В.
dc.date.accessioned	2021-07-06T11:04:24Z
dc.date.available	2021-07-06T11:04:24Z
dc.date.issued	2007
dc.description.abstract	Описываются результаты исследований резонансных измерительных преобразователей на основе микрополосковых резонаторов, предназначенных для контроля таких параметров полупроводниковых и диэлектрических пластин, как удельное сопротивление, толщина и диэлектрическая проницаемость.	uk_UA
dc.identifier.citation	Бородин Б. Г. Микрополосковые измерительные преобразователи для неразрушающей СВЧ диагностики материалов микроэлектронной техники / Б. Г. Бородин, В. В. Ананьин // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – 2007. – Вып. 2. – С. 9–13.	uk_UA
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/16916
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЭ	uk_UA
dc.subject	резонансный измерительный преобразователь	uk_UA
dc.subject	радиоэлектроника	uk_UA
dc.title	Микрополосковые измерительные преобразователи для неразрушающей СВЧ диагностики материалов микроэлектронной техники	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication