Публікація: Дослідження розподілу електромагнітного поля в датчику скануючого зондового мікроскопа
Завантаження...
Дата
2023
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Анотація
Об’єкт дослідження – коаксіальний датчик для неруйнуючого та безконтактного вимірювання параметрів напівпровідників. Мета роботи – розробка методики моделювання розподілу електромагнітних полів в робочому об’ємі коаксіального резонатора квазістаціонарного типу шляхом розв’язання рівняння Гельмгольца.
Метод дослідження – чисельне моделювання на ЕОМ. Моделюється розподіл азимутальної складової високочастотного магнітного поля, радіальної і аксіальної складових електричного поля в просторі циліндричної системи з азимутальною симетрією. Розроблено та перевірено алгоритм розрахунку електромагнітних полів шляхом безпосереднього розв’язання рівняння Гельмгольца методом скінчених різниць. Новим є те, що граничні умови і структура об’єкта, що моделюється, можуть задаватися зовсім довільно за допомогою спеціально розробленої символічної методики. Результати досліджень можуть бути використані при розробці датчиків для неруйнуючого контролю та вимірювання параметрів різноманітних шаруватих структур. Прогнозні припущення про розвиток об’єкта дослідження – удосконалення способу задавання межових умов на відкритих границях.
Опис
Ключові слова
коаксіальний датчик, вимірювання параметрів напівпровідників, розподіл електромагнітних полів, коаксіальний резонатор
Бібліографічний опис
Пономаренко Р. І. Дослідження розподілу електромагнітного поля в датчику скануючого зондового мікроскопа : пояснювальна записка до кваліфікаційної роботи здобувача вищої освіти на другому (магістерському) рівні, спеціальність 171 Електроніка / Р. І. Пономаренко ; М-во освіти і науки України, Харків. нац. ун-т радіоелектроніки. – Харків, 2023. – 80 с.