Процеси деградації окисних плівок на поверхні метал/оксид

Невлюдов, І. Ш.; Гурін, В. М.; Гурін, Д. В.

Публікація:
Процеси деградації окисних плівок на поверхні метал/оксид

dc.contributor.author	Невлюдов, І. Ш.
dc.contributor.author	Гурін, В. М.
dc.contributor.author	Гурін, Д. В.
dc.date.accessioned	2019-10-25T12:03:43Z
dc.date.available	2019-10-25T12:03:43Z
dc.date.issued	2019
dc.description.abstract	У тезах представлені результати досліджень деградації оксидних діелектриків Nb2O5 та Ta2O5 викликаних термічною кристалізацією. Встановлено, що розчинення кисню в ніобії та танталі сприяє пригніченню деградаційної процесу, пов'язаного з відновленням аморфного оксиду базовим металом. Показано, що в результаті окисно-відновних реакцій на міжфазних межах шаруватої структури кисень з оксиду дифундує в метал, окислюючи останній. Сам оксид при цьому відновлюється, що призводить до локальних порушень хімічного складу оксиду	uk_UA
dc.identifier.citation	Невлюдов І. Ш. Процеси деградації окисних плівок на поверхні метал/оксид / І. Ш. Невлюдов, В. М. Гурін, Д. В. Гурін // Виробництво & Мехатронні Системи 2019 : матеріали III Міжнар. конф., 24-25 жовт. 2019 р. , – Харків : ХНУРЕ, 2019. – С. 76 - 78.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/10041
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЕ	uk_UA
dc.subject	ніобій	uk_UA
dc.subject	тантал	uk_UA
dc.subject	деградація	uk_UA
dc.subject	оксидний діелектрик	uk_UA
dc.subject	кристалізація	uk_UA
dc.title	Процеси деградації окисних плівок на поверхні метал/оксид	uk_UA
dc.type	Thesis	uk_UA
dspace.entity.type	Publication