Публікація: Процеси деградації окисних плівок на поверхні метал/оксид
Завантаження...
Дата
2019
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЕ
Анотація
У тезах представлені результати досліджень деградації оксидних діелектриків Nb2O5 та Ta2O5 викликаних термічною кристалізацією. Встановлено, що розчинення кисню в ніобії та танталі сприяє пригніченню деградаційної процесу, пов'язаного з відновленням аморфного оксиду базовим металом. Показано, що в результаті окисно-відновних реакцій на міжфазних межах шаруватої структури кисень з оксиду дифундує в метал, окислюючи останній. Сам оксид при цьому відновлюється, що призводить до локальних порушень хімічного складу оксиду
Опис
Ключові слова
ніобій, тантал, деградація, оксидний діелектрик, кристалізація
Бібліографічний опис
Невлюдов І. Ш. Процеси деградації окисних плівок на поверхні метал/оксид / І. Ш. Невлюдов, В. М. Гурін, Д. В. Гурін // Виробництво & Мехатронні Системи 2019 : матеріали III Міжнар. конф., 24-25 жовт. 2019 р. , – Харків : ХНУРЕ, 2019. – С. 76 - 78.