Публікація: Structural diagram of automated quality control process of silicon wafers during their surface shaping
Завантаження...
Дата
2021
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
International Science Group
Анотація
Опис
Ключові слова
silicon wafer, control process, surface shaping, quality control
Бібліографічний опис
Nevlyudov I., Botsman I., Tesliuk S. Structural diagram of automated quality control process of silicon wafers during their surface shaping / I. Nevlyudov, I. Botsman, S. Tesliuk // Theoretical and scientific bases of development of scientific thought : abstracts of V International Scientific and Practical Conference, Rome, Italy, February 16-19, 2021. – Rome : International Science Group. – 2021. – Р. 612–615.