Публікація: Моделирование диффузионных процессов при образовании слоев силицидов
Завантаження...
Дата
1998
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЭ
Анотація
Представлен краткий обзор процесса образования силицидов. Рассмотрена диффузия с одной движущейся страницей
Опис
Ключові слова
силицид, образование силицидов, интегральная схема
Бібліографічний опис
Слипченко Н. И. Моделирование диффузионных процессов при образовании слоев силицидов / Н. И. Слипченко // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 1998. – Вып. 2. – С. 156-158.