Публікація:
Моделирование диффузионных процессов при образовании слоев силицидов

Спрощена сторінка документа
dc.contributor.authorСлипченко, Н. И.
dc.date.accessioned2018-11-16T15:08:07Z
dc.date.available2018-11-16T15:08:07Z
dc.date.issued1998
dc.description.abstractПредставлен краткий обзор процесса образования силицидов. Рассмотрена диффузия с одной движущейся страницейuk_UA
dc.identifier.citationСлипченко Н. И. Моделирование диффузионных процессов при образовании слоев силицидов / Н. И. Слипченко // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 1998. – Вып. 2. – С. 156-158.uk_UA
dc.identifier.urihttp://openarchive.nure.ua/handle/document/7290
dc.language.isoruuk_UA
dc.publisherХНУРЭuk_UA
dc.subjectсилицидuk_UA
dc.subjectобразование силицидовuk_UA
dc.subjectинтегральная схемаuk_UA
dc.titleМоделирование диффузионных процессов при образовании слоев силицидовuk_UA
dc.typeArticleuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
44Slipchenko_156-158.pdf
Розмір:
326.48 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити
Ліцензійний пакет
Зараз показано 1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Радиоэлектроника и информатика