Publication: Моделирование диффузионных процессов при образовании слоев силицидов
Loading...
Date
1998
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
ХНУРЭ
Abstract
Представлен краткий обзор процесса образования силицидов. Рассмотрена диффузия с одной движущейся страницей
Description
Keywords
силицид, образование силицидов, интегральная схема
Citation
Слипченко Н. И. Моделирование диффузионных процессов при образовании слоев силицидов / Н. И. Слипченко // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 1998. – Вып. 2. – С. 156-158.