Публікація:
Контроль складу плазми магнетроного разряду методом атомно-емісійної спектроскопії

Проста сторінка документа
dc.contributor.authorМаковська, О. Г.
dc.date.accessioned2021-11-29T13:46:58Z
dc.date.available2021-11-29T13:46:58Z
dc.date.issued2021
dc.description.abstractThe schemes for measuring the relative emission spectra of the magnetron discharge plasma and the design of the adapter for inputting the optical signal into the measuring circuit to control the sputtering process have been developed. The design takes into account the high sensitivity of the spectrophotometer and protects the entrance window from contamination by sprayed materialuk_UA
dc.identifier.citationМаковська О. Г. Контроль складу плазми магнетроного разряду методом атомно-емісійної спектроскопії / О. Г. Маковська, науковий керівник - проф. Бондаренко І. М. // Радіоелектроніка та молодь у ХХІ столітті : матеріали 25-го Міжнар. молодіжн. форуму, 20-22 квітня 2021 р. – Харків : ХНУРЕ, 2021. – Т. 1. – С. 25–26.uk_UA
dc.identifier.urihttps://openarchive.nure.ua/handle/document/18499
dc.language.isoukuk_UA
dc.publisherХНУРЕuk_UA
dc.subjectплазмаuk_UA
dc.subjectмагнетроний разрядuk_UA
dc.titleКонтроль складу плазми магнетроного разряду методом атомно-емісійної спектроскопіїuk_UA
dc.typeConference proceedingsuk_UA
dspace.entity.typePublication

Файли

Оригінальний пакунок

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
RiM_2021_MEEPP_25-26.pdf
Розмір:
140.77 KB
Формат:
Adobe Portable Document Format
Завантажити

Пакунок ліцензії

Зараз показано 1 - 1 з 1
Зображення мініатюри
Назва:
license.txt
Розмір:
9.42 KB
Формат:
Item-specific license agreed upon to submission
Опис:
Завантажити

Колекції

Кафедра мікроелектроніки, електронних приладів та пристроїв (МЕЕПП)