Контроль складу плазми магнетроного разряду методом атомно-емісійної спектроскопії

Маковська, О. Г.

Публікація:
Контроль складу плазми магнетроного разряду методом атомно-емісійної спектроскопії

dc.contributor.author	Маковська, О. Г.
dc.date.accessioned	2021-11-29T13:46:58Z
dc.date.available	2021-11-29T13:46:58Z
dc.date.issued	2021
dc.description.abstract	The schemes for measuring the relative emission spectra of the magnetron discharge plasma and the design of the adapter for inputting the optical signal into the measuring circuit to control the sputtering process have been developed. The design takes into account the high sensitivity of the spectrophotometer and protects the entrance window from contamination by sprayed material	uk_UA
dc.identifier.citation	Маковська О. Г. Контроль складу плазми магнетроного разряду методом атомно-емісійної спектроскопії / О. Г. Маковська, науковий керівник - проф. Бондаренко І. М. // Радіоелектроніка та молодь у ХХІ столітті : матеріали 25-го Міжнар. молодіжн. форуму, 20-22 квітня 2021 р. – Харків : ХНУРЕ, 2021. – Т. 1. – С. 25–26.	uk_UA
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/18499
dc.language.iso	uk	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЕ	uk_UA
dc.subject	плазма	uk_UA
dc.subject	магнетроний разряд	uk_UA
dc.title	Контроль складу плазми магнетроного разряду методом атомно-емісійної спектроскопії	uk_UA
dc.type	Conference proceedings	uk_UA
dspace.entity.type	Publication