Публікація: Контроль складу плазми магнетроного разряду методом атомно-емісійної спектроскопії
Завантаження...
Дата
2021
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
ХНУРЕ
Анотація
The schemes for measuring the relative emission spectra of the magnetron discharge plasma and the design of the adapter for inputting the optical signal into the measuring circuit to control the sputtering process have been developed. The design takes into account the high sensitivity of the spectrophotometer and protects the entrance window from contamination by sprayed material
Опис
Ключові слова
плазма, магнетроний разряд
Бібліографічний опис
Маковська О. Г. Контроль складу плазми магнетроного разряду методом атомно-емісійної спектроскопії / О. Г. Маковська, науковий керівник - проф. Бондаренко І. М. // Радіоелектроніка та молодь у ХХІ столітті : матеріали 25-го Міжнар. молодіжн. форуму, 20-22 квітня 2021 р. – Харків : ХНУРЕ, 2021. – Т. 1. – С. 25–26.