Публікація: Резонаторные измерительные преобразователи для локальной диагностики материалов и структур
Завантаження...
Файли
Дата
2014
Автори
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Харьковский национальный университет радиоэлектроники
Анотація
Проведен обзор и анализ особенностей построения, конструкций и характеристик различных
типов резонаторных измерительных преобразователей, предназначенных для локальной микроволновой диагностики материалов и малоразмерных планарных микроэлектронных структур. На
основе модельных и реальных экспериментальных исследований оценены возможности и перспективы практического использования микроволновых резонаторных измерительных преобразователей с зондовыми структурами.
Опис
Ключові слова
микроволновый, резонаторный, измерительный, преобразователь
Бібліографічний опис
Бондаренко И. Н. Резонаторные измерительные преобразователи для локальной диагностики материалов и структур / И. Н. Бондаренко // Прикладная радиоэлектроника : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 2014. – Т. 13, № 2 – С. 150–158.