Публікація:
Резонаторные измерительные преобразователи для локальной диагностики материалов и структур

Завантаження...
Зображення мініатюри

Дата

2014

Назва журналу

ISSN журналу

Назва тома

Видавництво

Харьковский национальный университет радиоэлектроники

Дослідницькі проекти

Організаційні підрозділи

Видання журналу

Анотація

Проведен обзор и анализ особенностей построения, конструкций и характеристик различных типов резонаторных измерительных преобразователей, предназначенных для локальной микроволновой диагностики материалов и малоразмерных планарных микроэлектронных структур. На основе модельных и реальных экспериментальных исследований оценены возможности и перспективы практического использования микроволновых резонаторных измерительных преобразователей с зондовыми структурами.

Опис

Ключові слова

микроволновый, резонаторный, измерительный, преобразователь

Бібліографічний опис

Бондаренко И. Н. Резонаторные измерительные преобразователи для локальной диагностики материалов и структур / И. Н. Бондаренко // Прикладная радиоэлектроника : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 2014. – Т. 13, № 2 – С. 150–158.

DOI