Исследование конструкторско-технологических решений по созданию упругих элементов кремниевых интегральных преобразователей давления

Сусликов, В. А.

Публікація:
Исследование конструкторско-технологических решений по созданию упругих элементов кремниевых интегральных преобразователей давления

dc.contributor.author	Сусликов, В. А.
dc.date.accessioned	2022-03-26T10:43:52Z
dc.date.available	2022-03-26T10:43:52Z
dc.date.issued	2009
dc.description.abstract	The calculation of the state of resilient element is in-process conducted. The construction of resilient element is developed and conducted topological electric measuring layout design.	uk_UA
dc.identifier.citation	Сусликов В. А. Исследование конструкторско-технологических решений по созданию упругих элементов кремниевых интегральных преобразователей давления / В. А. Сусликов // Радиоэлектроника и молодежь в ХХI веке : материалы 13-го Междунар. молодеж. форума, 30 марта–1 апреля 2009 г. – Харьков : ХНУРЭ, 2009. – Ч. 1. – С. 234–235.	uk_UA
dc.identifier.uri	https://openarchive.nure.ua/handle/document/19968
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	ХНУРЭ	uk_UA
dc.subject	преобразователь давления	uk_UA
dc.subject	создание упругих элементов	uk_UA
dc.title	Исследование конструкторско-технологических решений по созданию упругих элементов кремниевых интегральных преобразователей давления	uk_UA
dc.type	Conference proceedings	uk_UA
dspace.entity.type	Publication