Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне

Abstract

В работе приведена теоретическая модель спектральной интерференции в оптическом диапазоне и выполнена ее экспериментальной проверка. Показано, что в результате спектральной интерференции опорного и отраженного сигналов светодиода в интерферометре Майкельсона появляется периодическая модуляция его спектра. Изучены возможности применения этого эффекта для измерения микро расстояний с погрешностью не хуже 100 нм. Измерение положений экстремумов спектра позволит повысить точность измерения до значений, определяемых разрешающей способностью современных спектрометров.