Публікація: Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне
Немає доступних мініатюр
Файли
Дата
2011
Назва журналу
ISSN журналу
Назва тома
Видавництво
Радиофика и электроника, Харьков
Анотація
В работе приведена теоретическая модель спектральной интерференции в оптическом диапазоне и выполнена ее экспериментальной проверка. Показано, что в результате спектральной интерференции опорного и отраженного сигналов светодиода в интерферометре Майкельсона появляется периодическая модуляция его спектра. Изучены возможности применения этого эффекта для измерения микро расстояний с погрешностью не хуже 100 нм. Измерение положений экстремумов спектра позволит повысить точность измерения до значений, определяемых разрешающей способностью современных спектрометров.
Опис
Ключові слова
стабильность частоты, лазер
Бібліографічний опис
Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне / К. А. Лукин, Ю. П. Мачехин, М. Б. Данаилов, Д. Н. Татьянко. // Радиофика и электроника. – 2011. – №1. – С. 39–42.