Публікація: Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне
| dc.contributor.author | Лукин, К. А. | |
| dc.contributor.author | Мачехин, Ю. П. | |
| dc.contributor.author | Данаилов, М. Б. | |
| dc.contributor.author | Татьянко, Д. Н. | |
| dc.date.accessioned | 2019-05-15T19:35:18Z | |
| dc.date.available | 2019-05-15T19:35:18Z | |
| dc.date.issued | 2011 | |
| dc.description.abstract | В работе приведена теоретическая модель спектральной интерференции в оптическом диапазоне и выполнена ее экспериментальной проверка. Показано, что в результате спектральной интерференции опорного и отраженного сигналов светодиода в интерферометре Майкельсона появляется периодическая модуляция его спектра. Изучены возможности применения этого эффекта для измерения микро расстояний с погрешностью не хуже 100 нм. Измерение положений экстремумов спектра позволит повысить точность измерения до значений, определяемых разрешающей способностью современных спектрометров. | uk_UA |
| dc.identifier.citation | Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне / К. А. Лукин, Ю. П. Мачехин, М. Б. Данаилов, Д. Н. Татьянко. // Радиофика и электроника. – 2011. – №1. – С. 39–42. | uk_UA |
| dc.identifier.uri | http://openarchive.nure.ua/handle/document/8673 | |
| dc.language.iso | ru | uk_UA |
| dc.publisher | Радиофика и электроника, Харьков | uk_UA |
| dc.subject | стабильность частоты | uk_UA |
| dc.subject | лазер | uk_UA |
| dc.title | Измерения расстояний методом спектральной интерферометрии в микро- и нанометровом диапазоне | uk_UA |
| dc.type | Article | uk_UA |
| dspace.entity.type | Publication |
Файли
Оригінальний пакет
1 - 1 з 1
Ліцензійний пакет
1 - 1 з 1
Немає доступних мініатюр
- Назва:
- license.txt
- Розмір:
- 9.42 KB
- Формат:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Опис: