Анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологического процесса

Малик, Б. О.; Гурін, Д. В.

Публікація:
Анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологического процесса

dc.contributor.author	Малик, Б. О.
dc.contributor.author	Гурін, Д. В.
dc.date.accessioned	2018-11-29T12:14:26Z
dc.date.available	2018-11-29T12:14:26Z
dc.date.issued	2018
dc.description.abstract	В статье приведен анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологичного процесса. Описаны основные факторы влияющие на свойства пленок, представлены графики зависимости от этих факторов. Проведенный анализ позволяет определить оптимальные управляющие воздействия, для построение математической модели получения диэлектрических пленок.	uk_UA
dc.identifier.citation	Малик Б.О. Анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологического процесса / Б.О. Малик, Д.В. Гурин // Технология приборостроения. – 2018. – № 2. – с. 27–30.	uk_UA
dc.identifier.uri	http://openarchive.nure.ua/handle/document/7437
dc.language.iso	ru	uk_UA
dc.publisher	Державне підприємство Науково-дослідний технологічний інститут приладобудування	uk_UA
dc.subject	диэлектрические пленки	uk_UA
dc.subject	вольтамперные характеристики	uk_UA
dc.subject	электрические свойства пленок	uk_UA
dc.subject	управляющие воздействия	uk_UA
dc.subject	катодное распыление.	uk_UA
dc.title	Анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологического процесса	uk_UA
dc.type	Article	uk_UA
dspace.entity.type	Publication